隨著水污染的加重，人們開始意識到水資源的重要性，尤其是工業生產的用水要求極為嚴格，超純水設備使用廣泛。在使用了一段時間，無論是自來水還是超純水設備中都會出現。而超純水設備在使用中都會出現水垢影響出水質量和效果，還會減少設備的使用壽命。
其去除的方法主要是加藥去垢，按每噸水量加藥氫氧化鈉和磷酸三鈉各2.5公斤煮爐。當然根據熱規和蒸規要求建議上套樹脂軟化水，水垢耗能的成本遠遠高于軟化水的成本。
1、溶解度下降隨著設備水溫度的升高，設備水中某些鹽類溶解度下降，如CaS04和CaSi03等鹽類。
2、相互反應，給水中原溶解度較大的鹽類和設備水中其他鹽類、堿反應后，生成難溶于水的化合物，從而結生水垢。
3、水渣轉化，當設備內水渣過多時，而且又粘，如Mg(OH)2和Mg3(P04)2等，如果排污不及時，很容易由泥渣轉化為水垢。
4、受熱分解，含有暫時硬度的水進入設備后，在加熱過程中，一些鈣鎂鹽類受熱分解，從溶于水的物質轉變成難溶于水的物質，附著于設備金屬表面上結為水垢。
5、某些鹽類超過了其溶解度由于設備水的不斷蒸發和濃縮，水中的溶解鹽類含量不斷增加，當某些鹽類達到過飽和時，鹽類在蒸發面上析出固相，結生水垢。
